三坐標(biāo)測(cè)量儀是指在一個(gè)六面體的空間范圍內(nèi)，能夠表現(xiàn)幾何形狀、長度及圓周分度等測(cè)量能力的儀器，又稱為三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)或三坐標(biāo)量床。

工作原理：通過在三個(gè)相互垂直的方向上有導(dǎo)向機(jī)構(gòu)、測(cè)長元件、數(shù)顯裝置，測(cè)頭可以以手動(dòng)或機(jī)動(dòng)方式移動(dòng)到被測(cè)點(diǎn)上，當(dāng)測(cè)頭接觸工件并發(fā)出采點(diǎn)信號(hào)時(shí)，由控制系統(tǒng)采集當(dāng)前機(jī)床三軸坐標(biāo)相對(duì)于機(jī)床原點(diǎn)的坐標(biāo)值，再由計(jì)算機(jī)系統(tǒng)對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行處理，計(jì)算出工件的各點(diǎn)（x，y，z）坐標(biāo)及各項(xiàng)

三坐標(biāo)測(cè)量儀是指在一個(gè)六面體的空間范圍內(nèi)，能夠表現(xiàn)幾何形狀、長度及圓周分度等測(cè)量能力的儀器，又稱為三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)或三坐標(biāo)量床。

工作原理：通過在三個(gè)相互垂直的方向上有導(dǎo)向機(jī)構(gòu)、測(cè)長元件、數(shù)顯裝置，測(cè)頭可以以手動(dòng)或機(jī)動(dòng)方式移動(dòng)到被測(cè)點(diǎn)上，當(dāng)測(cè)頭接觸工件并發(fā)出采點(diǎn)信號(hào)時(shí)，由控制系統(tǒng)采集當(dāng)前機(jī)床三軸坐標(biāo)相對(duì)于機(jī)床原點(diǎn)的坐標(biāo)值，再由計(jì)算機(jī)系統(tǒng)對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行處理，計(jì)算出工件的各點(diǎn)（x，y，z）坐標(biāo)及各項(xiàng)

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• 長度測(cè)量系統(tǒng)：如 RENISHAW 開放式光柵尺，分辨率可達(dá) 0.1μm，用于精確測(cè)量各軸的位移量。

• 測(cè)頭系統(tǒng)：包括雷尼紹控制器、測(cè)頭、測(cè)針等，測(cè)頭以接觸或非接觸等方式傳遞訊號(hào)，獲取工件表面的坐標(biāo)信1。

工作臺(tái)：用于放置被測(cè)工件，通常采用花崗巖材質(zhì)，具有較強(qiáng)的承載能力和良好的穩(wěn)定性，如高精度（00 級(jí)）花崗巖平臺(tái)，能保證工件放置的平穩(wěn)性和測(cè)量的準(zhǔn)確性。

• 導(dǎo)軌：三軸導(dǎo)軌一般采用天然高精密花崗巖，四面全環(huán)抱式矩形結(jié)構(gòu)，配上高精度自潔式預(yù)應(yīng)力氣浮軸承，保證了整體具有相同的熱力學(xué)性能，避免熱膨脹系數(shù)不同造成的精度誤差，且軸承受力穩(wěn)定均衡，有利于延長機(jī)器硬件壽命1。

• 驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)：常見的有直流伺服系統(tǒng)，通過柔性同步齒形帶傳動(dòng)裝置等驅(qū)動(dòng)各軸運(yùn)動(dòng)，各軸均有限位和電子控制，傳動(dòng)快捷、運(yùn)動(dòng)性能佳

• 機(jī)械系統(tǒng)

• 測(cè)量系統(tǒng)

• 控制系統(tǒng)：采用進(jìn)口的雙計(jì)算機(jī)三座標(biāo)專用控制系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)對(duì)測(cè)量過程的精確控制和數(shù)據(jù)采集，并具有計(jì)算機(jī)輔助 3D 誤差修正技術(shù)（CAA），保證系統(tǒng)的長期穩(wěn)定性和高精度。

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• 測(cè)量功能：包括尺寸精度測(cè)量，可精確測(cè)量工件的長度、寬度、高度、直徑等尺寸；定位精度測(cè)量，確定工件上各點(diǎn)的準(zhǔn)確位置；幾何精度測(cè)量，檢測(cè)直線度、平面度、垂直度、平行度等幾何形狀誤差；輪廓精度測(cè)量，對(duì)工件的輪廓曲線或曲面進(jìn)行測(cè)量和評(píng)估

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